?氬氣在等離子清洗機中應(yīng)用優(yōu)勢

來源：m.fhteck.com.cn | 發(fā)布時間：2022年09月16日

氬氣在等離子清洗機中應(yīng)用優(yōu)勢
我們了解到氬氣用在離子清洗機中主要作用有表面清潔，表面粗化，活性輔助等，它在這些應(yīng)用具有避免電子器件氧化，便于區(qū)分等的優(yōu)勢，但是新疆高純氣體廠家這里要提醒大家在等離子清洗機種使用的氬氣在質(zhì)量上是需要有保障的.
1、避免電子器件氧化
氬氣是一種惰性氣體，電離后產(chǎn)生的離子體不會與基材發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在等離子清洗中主要被應(yīng)用于基材表面的物理清洗及表面粗化，較大的特點就是在表面清洗中不會造成精密電子器件的表面氧化。正因如此，氬等離子清洗機在半導(dǎo)體、微電子、晶圓制造等行業(yè)被廣泛應(yīng)用。
2、便于區(qū)分
氬氣在真空等離子清洗機中被電離所產(chǎn)生的等離子體呈暗紅色。在相同的放電環(huán)境下，氫氣和氮氣所產(chǎn)生的等離子體顏色都是呈紅色，但氬等離子體的亮度會低于氮氣且高于氫氣，還是比較好區(qū)分的。
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