?氬氣在等離子清洗機中的作用

來源：m.fhteck.com.cn | 發(fā)布時間：2022年12月05日

氬氣在等離子清洗機中的作用
我們了解過氬氣因為其性質(zhì)不活潑，被廣泛應(yīng)用于照明技術(shù)，窗戶玻璃隔熱等領(lǐng)域，其實氬氣還有一個非常重要的應(yīng)用，那就是被應(yīng)用在等離子清洗機中，那么，氬氣在等離子清洗機中的作用有哪些？下面是小編為大家做出的總結(jié)，我們一起來跟新疆橋架生產(chǎn)廠家看一下。
1、表面清潔
在晶圓、玻璃等產(chǎn)品表面顆粒的清除過程中，通常會采用等離子體對材料表面的顆粒進行轟擊，加以實現(xiàn)對顆粒的分散和松動處理，然后再進行離心清洗等處理工藝，會有著顯著的效果。在半導(dǎo)體封裝應(yīng)用中尤為突出，在經(jīng)過打線工藝后為防止導(dǎo)線氧化，需采用氬等離子體或氬氫等離子對產(chǎn)品表面進行等離子清洗，實現(xiàn)更好的產(chǎn)品處理效果。
2、表面粗化
等離子清洗機的表面粗化處理也稱為表面刻蝕處理，其主要目的是提升材料的表面粗糙度，進而增強材料的粘接、印刷和焊接等性能。其他活性氣體經(jīng)處理后也可提升產(chǎn)品表面張力，但氬離子化產(chǎn)生的顆粒要更重，在電場的作用下氬離子的動能較高于其他活性氣體，所以其粗化效果更號。氬氣在無機物表面粗化的過程中應(yīng)用比較廣泛，如玻璃基材的表面處理、金屬基材的表面處理等。
3、活性輔助
在等離子清洗機的活化和清洗工藝中，工藝氣體經(jīng)常被混合使用，以達到更佳的效果。因為氬氣的分子比較大，電離后產(chǎn)生的粒子比較后，在進行表面清洗和活化時通常會配合活性氣體混合使用，較常見的就是氬氣和氧氣的混合。氧氣為高活性氣體，可有效地對有機污染物或有機基材表面進行化學(xué)分解，但其粒子相對較小，斷鍵和轟擊能力有限，如加上一定比例的氬氣，那么所產(chǎn)生的等離子體對有機污染物或有機基材表面的斷鍵和分解能力就會更強，加快清洗和活化的效率。
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